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最小可測粒径0.05μmの超純水プラント向けオールインワンタイプ
液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を新発売

2016年05月16日

液中パーティクルカウンタ「KL-30B」

リオンは、最小可測粒径0.05μmの超純水プラント向け液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を、6月1日から発売します。
電子デバイス製造工場の洗浄工程に超純水が使用されており、液中パーティクルカウンタは、この超純水中の微粒子の粒径と個数濃度の清浄度管理に利用されています。
このたび開発した「KL-30B」は、粒子検出部、表示部、流体制御部を一体化させたオールインワンタイプです。超純水の製造ラインに直接接続し、清浄度を常時監視することができます。粒径区分は、0.05μmから0.2μmの範囲で、最大10段階を設定できます。

主な特長

  • 粒子検出部、表示部、流体制御部、データ出力機能を一筐体に収め、使用場所での利便性を高めました。
  • 超純水の供給ラインに直接接続し、清浄度の監視が可能です。
  • 最小可測粒径は0.05μm。粒径区分は0.05μmから0.2μmの範囲で、最大10段階を設定可能です。
  • 偽計数を低減させる技術を新たに採用しました。(従来比約1/5)。
  • 粒子検出部の外気環境粒子による汚染を防止するため、フィルタでろ過した清浄空気を送り込む装置「パージエアユニット」を標準搭載しています。
  • 試料圧力500kPa(ゲージ圧)と高圧にも対応しています。
  • データ出力機能は、D/Aコンバータ(4~20mA)、プリンタ、コンパクトフラッシュカード(オプション)、シリアルインターフェースと複数ご用意しています。
  • 粒子検出部の取り外しが簡便な構造にし、メンテナンス性が向上しています。

主な使用用途

主に電子デバイス製造工場の超純水プラントにて生産される超純水の粒子汚染の監視