微粒子計測器

微粒子計測器の概要

印刷

文字サイズ

  • 小さく
  • 標準
  • 大きく

微粒子計測器の概要

科学及び産業の著しい発展につれ、空気中や液体中の微少なチリが人間の健康や製品の質に悪影響をおよぼすことが問題となっています。
製品の小型、細密、高集積化がすすみ、より高い精度、品質、信頼性を要求される半導体工業、電子工業、化学工業、データストレージ分野、超精密印刷などの精密工業においては、空気・超純水・薬品中の微粒子が、たちまち製品の仕上がり、歩留まりに悪影響をおよぼします。
大部分のバクテリアやウイルスは、浮遊粒子に付着するため、細菌や他の物質の混入を防止しなければならない製薬工業や除じん・除細菌対策を必要とする食品工業、高度の無じん・無菌空間を必要とする手術室などでも、清浄度の高い環境が要求されます。また、注射剤の製造過程では不溶性微粒子を測定することが法律化されています。
こうした清浄度とそのレベルの変化は、その中の微粒子濃度、粒径分布を計測することによってはじめて知ることができ、これらのデータに基づいて適切な処置と管理を行うことができます。これらの計測を行う装置として最も普及しているのが、パーティクルカウンタ(気中用、液中用、プロセス用)です。
最近では、いろいろなセンサの情報を含めて統合処理をを行うファシリティモニタリングシステムや、清浄度多点監視システムの重要性が高まっています。