微粒子計測器

気中パーティクルカウンタ

ガス用製品詳細

KS-93

気中パーティクルセンサ

特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理

  • イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能
  • SUS配管(VCR)を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 100mL/min
最大粒子個数濃度 30,000個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、40VA(外部電源 KZ-50(付属)を含む)
大きさ 約135(H)×280(W)×150(D)mm(突起部を除く)
重さ 約6.5kg