微粒子計測器

気中パーティクルカウンタ

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多点監視用製品詳細

KC-24

気中パーティクルカウンタ:米国・欧州向けの販売をしていません

0.1μm、28.3L/min。スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に

  • 半導体レーザ励起固体レーザ採用で、小型・軽量
  • ISO 21501-4(JIS B 9921)適合
  • ISO 14644-1に準じた空気清浄度を、簡単に評価
  • リオン多点モニタリングシステムへの組み込みや、チューブ多点システムの構築が可能
  • 測定データはCFカードに保存が可能
  • プリンタ(工場オプション)を内蔵可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長1064nm)
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 28.3L/min
最大粒子個数濃度 2,000,000個/m3(計数損失10%以内)
電源 AC100V~240V、50/60 Hz、300VA
大きさ 約280(H)×320(W)×450(D)mm(突起物を除く)
重さ 約19.4kg

KA-05

気中パーティクルセンサ

無菌医薬品製造区域のモニタリングに最適

  • ISO 21501-4(JIS B 9921)適合
  • 大流量の28.3 L/min(吸引ポンプ別途)
  • 筐体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上
  • 2チャンネルのアナログ出力(4-20 mA)に対応(工場オプション)

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長785nm、定格出力70mW)
粒径区分 0.5μm以上、5.0μm以上の2段階
定格流量 28.3L/min
最大粒子個数濃度 28,000,000個/m3(計数損失10%以内)
電源 DC9V~28V(オプションの電源ユニットから供給の場合)
DC15V~28V(工場オプションの4-20mA出力の場合)
大きさ 約90(H)×130(W)×56(D)mm(突起部を除く)
重さ 約650g

KA-02

気中パーティクルセンサ

小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに

  • 筺体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力35mW)
粒径区分 0.3μm以上、0.5μm以上の2段階
定格流量 2.83L/min
最大粒子個数濃度 140,000,000個/m3(計数損失10%以内)
電源 DC9V~28V(外部ユニットから供給、オプション)
大きさ 約52(H)×107(W)×52(D)mm(突起部を除く)
重さ 約360g

KA-03

気中パーティクルセンサ

常時監視システム、自動運転システムの構築が可能

  • ISO 21501-4(JIS B 9921)適合
  • センサ・ポンプ一体の小型設計
  • 筺体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力35mW)
粒径区分 0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、2μm以上、5μm以上の5段階
定格流量 2.83L/min
最大粒子個数濃度 140,000,000個/m3(計数損失10%以内)
電源 ACアダプタ(AC100V~240V、50/60Hz)
大きさ 約126(H)×87(W)×204(D)mm(突起部を除く)
重さ 約2kg

KA-82

気中パーティクルセンサ

0.1μmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能

  • モニタリングポイントの設置・変更、レイアウト変更に柔軟に対応
  • ポンプ内蔵型。各測定点に直接設置が可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起型固体レーザ(波長1064nm)
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 2.83L/min
最大粒子個数濃度 10,000個/L(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、50/60Hz、約100VA
大きさ 約185(H)×155(W)×330(D)mm(突起物を除く)
重さ 約7.5kg