微粒子計測器

気中パーティクルカウンタ

多点監視用製品詳細

KA-82

気中パーティクルセンサ

0.1μmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能

  • モニタリングポイントの設置・変更、レイアウト変更に柔軟に対応
  • ポンプ内蔵型。各測定点に直接設置が可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起型固体レーザ(波長1064nm)
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 2.83L/min
最大粒子個数濃度 10,000個/L(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、50/60Hz、約100VA
大きさ 約185(H)×155(W)×330(D)mm(突起物を除く)
重さ 約7.5kg