液中パーティクルカウンタ
バッチサンプリング測定用
-
KS-41B
液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 5mL/min 最大粒子個数濃度 9,600個/mL（計数損失10%以内） -
KS-41A
液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.15μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内）
-
KS-19F
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.03μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 40,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-18FX
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL（計数損失10%以内）
-
KS-18F
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-42A
液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内）
-
KS-42AF
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42B
液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内）
-
KS-42BF
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42C
液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.5μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内）
-
KS-42D
液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 2μm 定格流量 25mL/min 最大粒子個数濃度 10,000個/mL（計数損失10%以内）
インライン測定用
-
KL-30B
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量10mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 200,000個/ｍL（計数損失10 %以内） -
KL-30AX
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 15,000個/ｍL（計数損失10 %以内）
-
KL-30A
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 15,000個/ｍL（計数損失10%以内） -
KS-17B
液中パーティクルセンサ、純水用
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 100,000個/ｍL（計数損失5%以内）
-
KS-16
液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） -
KS-16F
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内）
製薬⽤
-
KL-05
液中パーティクルカウンタ
最小可測粒径 1.3μm 定格流量 25ｍL/min 最大粒子個数濃度 10,000個/ｍL（計数損失10％以内）