微粒子計測器

液中パーティクルカウンタ

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バッチサンプリング測定用製品詳細

KS-41B

液中パーティクルセンサ、レジスト用

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

  • 多点監視システムに接続可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.1μm~0.5μmの範囲で10段階(オプションで0.07μmから対応、純水などの透明な液体の場合)
出荷時:0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 5mL/min
最大粒子個数濃度 9,600個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約164(H)×464(W)×305(D)mm(突起物を除く)
重さ 約12.5kg

KS-41A

液中パーティクルセンサ、レジスト用

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

  • 多点監視システムに接続可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.15μm~0.5μmの範囲で10段階
出荷時:0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約160(H)×300(W)×250(D)mm(突起物を除く)
重さ 約7.5kg

KS-19F

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.03μm粒子を測定

  • 最小可測粒径0.03μm、薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014年2月当社調べ)
  • セルにサファイアを採用
  • 豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力800mW)
接液部材質 サファイア、PFA
粒径区分 0.03μm~0.13μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.03μm以上、0.06μm以上、0.1μm以上、0.13μm以上の4段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 40,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約170(H)×487(W)×310(D)mm(突起部は除く)
重さ 約13.5kg

KS-18FX

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.04μm粒子を測定

  • セルにサファイアを採用
  • 豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 サファイア、PFA
粒径区分 0.04μm~0.15μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.04μm以上、0.08μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上の4段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 30,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約147(H)×272(W)×442(D)mm(突起部を除く)
重さ 約12kg

KS-18F

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.05μm粒子を測定

  • 計数効率10%を実現
  • セルにサファイアを採用
  • 豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 サファイア、PFA
粒径区分 0.05μm~0.2μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上の4段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 30,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約147(H)×272(W)×442(D)mm(突起部を除く)
重さ 約12kg

KS-42A

液中パーティクルセンサ

液体中の0.1μm粒子を測定

  • 高計数効率により少ないサンプル量で測定が可能
  • セルに石英を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.1μm~0.5μmの範囲で10段階(オプションで1.0μmまで対応)
出荷時:0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×240(W)×151(D)mm(突起部を除く)
重さ 約4kg

KS-42AF

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.1μm粒子を測定

  • 高計数効率により少ないサンプル量で測定が可能
  • セルにサファイアを採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 サファイア、PFA
粒径区分 0.1μm~0.5μmの範囲で10段階(オプションで1.0μmまで対応)
出荷時:0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×240(W)×151(D)mm(突起部を除く)
重さ 約4kg

KS-42B

液中パーティクルセンサ

液体中の0.2μm粒子を測定

  • 全量検出により少ないサンプル量で測定が可能
  • セルに石英を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力40mW)
接液部材質 合成石英、PFA、PTFE
粒径区分 0.2μm~2μmの範囲で10段階
出荷時:0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、2μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×240(W)×151(D)mm(突起部を除く)
重さ 約3.2kg

KS-42BF

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.2μm粒子を測定

  • 全量検出により少ないサンプル量で測定が可能
  • セルにサファイアを採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力40mW)
接液部材質 サファイア、PFA、PTFE
粒径区分 0.2μm~2μmの範囲で10段階
出荷時:0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、2μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×240(W)×151(D)mm(突起部を除く)
重さ 約3.2kg

KS-42C

液中パーティクルセンサ

液体中の0.5μm粒子を測定

  • 全量検出により少ないサンプル量で測定が可能
  • セルに石英を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力5mW)
接液部材質 合成石英、PFA、PTFE
粒径区分 0.5μm~20μmの範囲で10段階
出荷時:0.5μm以上、1μm以上、2μm以上、3μm以上、5μm以上、10μm以上、20μm以上の7段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×250(W)×151(D)mm(突起部を除く)
重さ 約3kg

KS-42D

液中パーティクルセンサ

2μmの粗大粒子の測定が可能

  • セルに石英を採用
  • スタンド(オプション)により、ボトルからサンプリング

仕様

光学系方式 光遮蔽方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力5mW)
接液部材質 合成石英、PFA、パーフロ
粒径区分 2μm~100μmの範囲で10段階(オプションで150μmまで対応)
出荷時:2μm以上、3μm以上、5μm以上、7μm以上、10μm以上、25μm以上、50μm以上、100μm以上の8段階
定格流量 25mL/min
最大粒子個数濃度 10,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約125(H)×140(W)×150(D)mm(突起部を除く)
重さ 約2.2kg