微粒子計測器

液中パーティクルカウンタ

バッチサンプリング測定用製品詳細

KS-41A

液中パーティクルセンサ、レジスト用

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

  • 多点監視システムに接続可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.15μm~0.5μmの範囲で10段階
出荷時:0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約160(H)×300(W)×250(D)mm(突起物を除く)
重さ 約7.5kg