微粒子計測器

液中パーティクルカウンタ

バッチサンプリング測定用製品詳細

KS-41B

液中パーティクルセンサ、レジスト用

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

  • 多点監視システムに接続可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.1μm~0.5μmの範囲で10段階(オプションで0.07μmから対応、純水などの透明な液体の場合)
出荷時:0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 5mL/min
最大粒子個数濃度 9,600個/mL(計数損失10%以内)
電源 DC12V(KE-40B1より供給)
大きさ 約164(H)×464(W)×305(D)mm(突起物を除く)
重さ 約12.5kg