微粒子計測器

液中パーティクルカウンタ

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インライン測定用製品詳細

KL-30B

液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵

0.05μm、超純水の粒子汚染を監視

  • センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ
  • 超純水ラインに直接インストール、プロセスを管理
  • パージエアユニット標準搭載
  • 高圧に対応 500kPa(ゲージ圧)
  • D/Aコンバータ(4-20mA)、アラーム出力接点を標準装備
  • プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード(オプション)も使用可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM
測定範囲 0.05μm~0.2μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上の4段階
試料流量 定格流量10mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)
最大粒子個数濃度 200,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 AC100V~240V、50/60Hz、約80VA
大きさ 約230(H)×330(W)×570(D)mm(突起部を除く)
重さ 約19.8kg

KL-30AX

液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵

超純水の0.04μm粒子を監視

  • センサ・コントローラ・流量計を一体化したオールインワンタイプ
  • 高圧に対応 500kPa(ゲージ圧)
  • D/Aコンバータ(4-20mA)、アラーム出力接点を標準装備
  • プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード(オプション)も使用可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM
粒径区分 0.04μm~0.15μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.04μm以上、0.08μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上の4段階
試料流量 定格流量20mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)
最大粒子個数濃度 15,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 AC100V~240V、50/60Hz、約130VA
大きさ 約230(H)×385(W)×570(D)mm(突起部を除く)
重さ 約24.8kg

KL-30A

液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵

超純水の0.05μm粒子を監視

  • 計数効率10%を実現
  • センサ・コントローラ・流量計を一体化したオールインワンタイプ
  • 高圧に対応 500kPa(ゲージ圧)
  • D/Aコンバータ(4-20mA)、アラーム出力接点を標準装備
  • プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード(オプション)も使用可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532nm、定格出力500mW)
接液部材質 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM
粒径区分 0.05μm~0.2μmの範囲で2から10段階
出荷時:0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上の4段階
試料流量 定格流量20mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)
最大粒子個数濃度 15,000個/mL(計数損失10%以内)
電源 AC100V~240V、50/60Hz、約130VA
大きさ 約230(H)×385(W)×570(D)mm(突起部を除く)
重さ 約24.8kg

KS-17B

液中パーティクルセンサ、純水用

超純水の0.05μm粒子を監視

  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • センサコントローラ(KZ-70)やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、PFA、パーフロ(特殊フッ素ゴム)
粒径区分 0.05μm以上、0.1μm以上の2段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 100,000個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、約40VA(外部電源KZ-50(付属)を含む)
大きさ 約160(H)×300(W)×250(D)mm(突起部を除く)
重さ 約6kg

KS-16

液中パーティクルセンサ

液体中の0.1μm粒子を測定

  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • センサコントローラ(KZ-70)やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
  • セルに石英を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 合成石英、PFA
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、約40VA(外部電源KZ-50(付属)を含む)
大きさ 約110(H)×240(W)×150(D)mm(突起部を除く)
重さ 約3.5kg

KS-16F

液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.1μm粒子を測定

  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • センサコントローラ(KZ-70)やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
  • セルにサファイアを採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)
接液部材質 サファイア、PFA
粒径区分 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V~240V、約40VA(外部電源KZ-50(付属)を含む)
大きさ 約110(H)×240(W)×150(D)mm(突起部を除く)
重さ 約3.5kg

KL-28B

液中パーティクルカウンタ

薬液中の0.2μm粒子を測定

  • 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • モニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
  • セルに石英を採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力40mW)
接液部材質 合成石英、PFA、PTFE
粒径区分 0.2μm以上、0.5μm以上の2段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V、約23VA(KE-28Bより供給)
大きさ 約70(H)×85(W)×118(D)mm(突起部を除く)
重さ 約0.6kg

KL-28BF

液中パーティクルカウンタ、フッ化水素酸対応

薬液中の0.2μm粒子を測定

  • 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • モニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
  • セルにサファイアを採用

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力40mW)
接液部材質 サファイア、PFA、PTFE
粒径区分 0.2μm以上、0.5μm以上の2段階
定格流量 10mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100V、約23VA(KE-28Bより供給)
大きさ 約70(H)×85(W)×118(D)mm(突起部を除く)
重さ 約0.6kg