 |
|
| News Release | |
２００７年１２月１７日 |
|
液中パーティクルセンサ「ＫＳ−４２」シリーズ５機種を新発売 |
| リオンは、半導体材料用化学薬品をはじめ、純水、洗浄用化学薬品などの粒子管理に用いる 液中パーティクルセンサ「ＫＳ−４２」シリーズ５機種の販売を開始しました。 |
 |
|||
| ◇ |
展開商品について |
||
| ・ | 最小可測粒径が、０.１μｍ「ＫＳ−４２Ａ」、０.２μｍ「ＫＳ−４２Ｂ」、０.５μｍ「ＫＳ−４２Ｃ」の３機種を用意しています。 | ||
| ・ | 「ＫＳ−４２Ａ」と「ＫＳ−４２Ｂ」の２機種には、フッ化水素酸対応の「ＫＳ−４２ＡＦ」、「ＫＳ−４２ＢＦ」を用意しています。 | ||
| ・ | 検出には、光散乱方式を採用しています。 | ||
| ・ | 液中パーティクルセンサの動作制御、測定データの表示用として、５機種共通のコントローラ「ＫＥ−４０Ｂ」を開発し、同時発売します。 | ||
| ◇ | リオンの液中パーティクルカウンタについて |
| エレクトロニクス、メカトロニクス、バイオテクノロジーの分野において、洗浄、希釈、反応などのプロセスに使用する純水、溶剤、化学薬品、レジストなどの液体は、高度な品質管理が不可欠となっています。 さらに、医薬品製造分野では液体中の微粒子管理が重要となっています。当社の液中パーティクルカウンタは、高い信頼性と技術力により、業界トップシェアを堅持し、研究室から最先端の生産現場、医療の領域まで、幅広い領域で活用されています。 |
| ◇ | 展開商品について |
|
| １．「ＫＳ−４２Ａ」「ＫＳ−４２ＡＦ（フッ化水素酸対応）」 | ||
| ０.1μｍが測定可能な信頼性の高いパーティクルセンサです。高計数効率により、少ないサンプル量で測定が可能です。 ● 主な用途（半導体プロセス用各種薬液、純水など） | ||
| 1） 最小可測粒径０.１μｍ、定格流量１０ｍＬ/ｍｉｎ | ||
| 2） 粒径区分（５段階、出荷時） ０.１μｍ以上、０.１５μｍ以上、０.２μｍ以上、０.３μｍ以上、０.５μｍ以上 |
||
| 3） 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 | ||
| 4） 「ＫＳ−４２ＡＦ（フッ化水素酸対応）」は、サファイアセルを使用 | ||
| 5） 粒径範囲内で任意に粒径を測定可能（ＫＥ−４０Ｂの機能による） | ||
| ２．「ＫＳ−４２Ｂ」「ＫＳ−４２ＢＦ（フッ化水素酸対応）」 | ||
| ０.２μｍ〜２.０μｍの広範な可測粒径範囲となっています。高計数効率により、少ないサンプル量で測定が可能です。 |
||
| ● 主な用途（液晶プロセス用各種薬液、純水など） |
||
| 1） 最小可測粒径０.２μｍ、定格流量１０ｍＬ/ｍｉｎ | ||
2） 粒径区分（５段階、出荷時） |
||
| 3） 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 | ||
| 4） 「ＫＳ−４２ＢＦ（フッ化水素酸対応）」は、サファイアセルを使用 | ||
| 5） 粒径範囲内で任意に粒径を測定可能（ＫＥ−４０Ｂの機能による） | ||
| ３．「ＫＳ−４２Ｃ」 | ||
０.５μｍから２０μｍのワイドレンジ対応で多彩な粒子測定に対応します。 |
||
| 1） 最小可測粒径０.５μｍ、定格流量１０ｍＬ/ｍｉｎ | ||
| 2） 粒径区分（７段階、出荷時） ０.５μｍ以上、１.０μｍ以上、２.０μｍ以上、３.０μｍ以上、５.０μｍ以上、１０μｍ以上、 ２０μｍ以上 |
||
| 3） 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 | ||
| 4） 任意に粒径を測定可能（ＫＥ−４０Ｂの機能による） | ||
| ４．コントローラ「ＫＥ−４０Ｂ」（同時発売） | ||
| 液中パーティクルセンサの動作制御、測定データの表示用のコントローラです。 ５機種共通となっています。 |
||
| 1） 粒径区分を最大１０チャンネルまで任意に設定可能 | ||
| 2） プリンタ内蔵、メモリカード（ＣＦカード）による測定データの保存が可能 | ||