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News Release | |
2009年5月29日 |
液中パーティクルカウンタ「KL−30A」を新発売 |
リオンは、超純水の粒子汚染を監視するセンサ、コントローラ、流量計を一体化した最小可測粒径0.05μmのオールインタイプ液中パーティクルカウンタ「KL−30A」を開発し、2009年5月から新発売しました。 |
◇リオンの液中パーティクルカウンタについて |
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リオンの液中パーティクルカウンタは、高い信頼性と技術力により、業界トップシェアを堅持し、研究室から最先端の生産現場まで、幅広い領域で使用されています。 電子工業においては、微細加工技術の向上により高集積化が進んでおり、微細化が進むにつれて製品の歩留まりに影響を与える粒子は、より微小となっています。 |
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今回開発した液中パーティクルカウンタ「KL−30A」は、最小可測粒径0.05μmの超純水粒子汚染を監視するとともに、実効試料流量も当社比20倍を実現し、より効率的な監視が可能となっています。 さらに、センサ、コントローラ、流量計、データ保存を一体化したオールインタイプのため、超純水ラインに直接接続できます。 ※左の画像は液中パーティクルカウンタ「KL−30A型」 |
◇液中パーティクルカウンタ「KL−30A」の概要 |
1.主な用途 |
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超純水の品質管理など |
2.特長 | ||
1) | 最小可測粒径0.05μm |
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2) | 実効試料流量2±0.6mL/minにより、当社比約20倍を実現 | |
3) | 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 | |
4) | 試料圧力500kPa(ゲージ圧)と高圧にも対応 | |
5) | D/Aコンバータ(4から20mA)、アラーム出力を標準装備 | |
6) | プリンタを内蔵し、オプションでコンパクトフラッシュカードも使用可能 |
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3.製品仕様 |
1)光学方式 | 側方散乱方式 |
2)光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ (定格出力500mW、波長532nm) |
3)粒径区分 | 4段階(出荷時) 0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上 任意設定:2段階から10段階まで任意設定 設定範囲:0.05μm〜0.2μm |
4)実効試料流量 | 2±0.6mL/min |
5)最大定格粒子個数濃度 | 7 000個/mL(計数損失5%時) 15 000個/mL(計数損失10%時) |
6)電源 | 130VA AC100〜240V、50/60Hz |
7)大きさ・重さ | 230(H)×385(W)×570(D)mm(突起部は除く)、約24.8kg |
製品の詳細は、こちらのPDFカタログをご覧ください。 |