リオン株式会社
News Release

2009年5月29日
        

液中パーティクルカウンタ「KL−30A」を新発売


 リオンは、超純水の粒子汚染を監視するセンサ、コントローラ、流量計を一体化した最小可測粒径0.05μmのオールインタイプ液中パーティクルカウンタ「KL−30A」を開発し、2009年5月から新発売しました。

リオンの液中パーティクルカウンタについて
   リオンの液中パーティクルカウンタは、高い信頼性と技術力により、業界トップシェアを堅持し、研究室から最先端の生産現場まで、幅広い領域で使用されています。
電子工業においては、微細加工技術の向上により高集積化が進んでおり、微細化が進むにつれて製品の歩留まりに影響を与える粒子は、より微小となっています。

液中パーティクルカウンタ「KL−30A」
  今回開発した液中パーティクルカウンタ「KL−30A」は、最小可測粒径0.05μmの超純水粒子汚染を監視するとともに、実効試料流量も当社比20倍を実現し、より効率的な監視が可能となっています。

さらに、センサ、コントローラ、流量計、データ保存を一体化したオールインタイプのため、超純水ラインに直接接続できます。




※左の画像は液中パーティクルカウンタ「KL−30A型」


◇液中パーティクルカウンタ「KL−30A」の概要
1.主な用途
 
超純水の品質管理など

2.特長
  1) 最小可測粒径0.05μm
  2) 実効試料流量2±0.6mL/minにより、当社比約20倍を実現
  3) 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
  4) 試料圧力500kPa(ゲージ圧)と高圧にも対応
  5) D/Aコンバータ(4から20mA)、アラーム出力を標準装備
  6) プリンタを内蔵し、オプションでコンパクトフラッシュカードも使用可能
液中パーティクルカウンタ「KL−30A」(印字例)

3.製品仕様
1)光学方式 側方散乱方式
2)光源 半導体レーザ励起固体レーザ
(定格出力500mW、波長532nm)
3)粒径区分 4段階(出荷時)
0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上
任意設定:2段階から10段階まで任意設定
設定範囲:0.05μm〜0.2μm
4)実効試料流量 2±0.6mL/min
5)最大定格粒子個数濃度  7 000個/mL(計数損失5%時)
15 000個/mL(計数損失10%時)
6)電源 130VA AC100〜240V、50/60Hz
7)大きさ・重さ 230(H)×385(W)×570(D)mm(突起部は除く)、約24.8kg


製品の詳細は、こちらのPDFカタログをご覧ください。


[微粒子計測器]  [リオン株式会社]