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| News Release | |
２００９年５月２９日 |
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液中パーティクルカウンタ「ＫＬ−３０Ａ」を新発売 |
| リオンは、超純水の粒子汚染を監視するセンサ、コントローラ、流量計を一体化した最小可測粒径０.０５μｍのオールインタイプ液中パーティクルカウンタ「ＫＬ−３０Ａ」を開発し、２００９年５月から新発売しました。 |
| ◇リオンの液中パーティクルカウンタについて |
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| リオンの液中パーティクルカウンタは、高い信頼性と技術力により、業界トップシェアを堅持し、研究室から最先端の生産現場まで、幅広い領域で使用されています。 電子工業においては、微細加工技術の向上により高集積化が進んでおり、微細化が進むにつれて製品の歩留まりに影響を与える粒子は、より微小となっています。 |
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今回開発した液中パーティクルカウンタ「ＫＬ−３０Ａ」は、最小可測粒径０.０５μｍの超純水粒子汚染を監視するとともに、実効試料流量も当社比２０倍を実現し、より効率的な監視が可能となっています。 さらに、センサ、コントローラ、流量計、データ保存を一体化したオールインタイプのため、超純水ラインに直接接続できます。 ※左の画像は液中パーティクルカウンタ「ＫＬ−３０Ａ型」 |
| ◇液中パーティクルカウンタ「ＫＬ−３０Ａ」の概要 |
１．主な用途 |
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超純水の品質管理など |
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| ２．特長 | ||
| 1） | 最小可測粒径０.０５μｍ |
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| 2） | 実効試料流量２±０.６ｍＬ/ｍｉｎにより、当社比約２０倍を実現 | |
| 3） | 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 | |
| 4） | 試料圧力５００ｋＰａ（ゲージ圧）と高圧にも対応 | |
| 5） | Ｄ/Ａコンバータ（４から２０ｍＡ）、アラーム出力を標準装備 | |
| ６） | プリンタを内蔵し、オプションでコンパクトフラッシュカードも使用可能 | |
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| ３．製品仕様 |
| 1）光学方式 | 側方散乱方式 |
| ２）光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ （定格出力５００ｍＷ、波長５３２ｎｍ） |
| ３）粒径区分 | ４段階（出荷時） ０.０５μｍ以上、０.１μｍ以上、０.１５μｍ以上、０.２μｍ以上 任意設定：２段階から１０段階まで任意設定 設定範囲：０.０５μｍ〜０.２μｍ |
| ４）実効試料流量 | ２±０.６ｍＬ/ｍｉｎ |
| ５）最大定格粒子個数濃度 | ７ ０００個/ｍＬ（計数損失５％時） １５ ０００個/ｍＬ（計数損失１０％時） |
| ６）電源 | １３０ＶＡ ＡＣ１００〜２４０Ｖ、５０/６０Ｈｚ |
| ７）大きさ・重さ | ２３０（Ｈ）×３８５（Ｗ）×５７０（Ｄ）ｍｍ（突起部は除く）、約２４.８ｋｇ |
製品の詳細は、こちらのＰＤＦカタログをご覧ください。 |