リオン株式会社
News Release
2010年1月14日
      

液中パーティクルセンサ「KS−18F」を新発売

 リオンは、計数効率(※1)を従来器(KS−17AF)の10倍となる10%に向上し、液中の0.05μmの粒子を高感度に測定できる光散乱方式の液中パーティクルセンサ「KS−18F」を開発し、2010年1月から発売します。
(※1) 計数効率は、ある粒径およびその個数が既知である粒子をパーティクルカウンタに導入したときパーティクルカウンタが計数する割合です。
リオンの液中パーティクルセンサについて
   エレクトロニクス、メカトロニクス、バイオテクノロジーの分野において、洗浄、希釈、反応などのプロセスに使用する純水、溶剤、化学薬品、レジストなどの液体は、高度な品質管理が不可欠となっています。さらに、医薬品製造分野では液体中の微粒子管理が重要となっています。

液中パーティクルセンサ「KS−18F]

  今回開発した液中パーティクルセンサ「KS−18F」は、従来器の10倍の計数効率を実現し、0.05μmの粒子を高感度で測定でき、パーティクルセンサの動作制御、測定データを表示するコントローラ「KE−40B1(新製品)」やシリンジサンプラ、コンピュータなどで測定システムを構成します。




※左の画像は液中パーティクルセンサ「KS−18F」


◇液中パーティクセンサ「KS−18F」の概要
1.主な用途
 
電子工業薬品の品質管理など

2.特長
  1) 従来器「KS−17AF」の10倍となる計数効率10%に向上
  2) 最小可測粒径0.05μm、定格流量10mL/min
  3) 粒径区分(4段階、出荷時) 0.05μm、0.1μm、0.15μm、0.2μm以上
  4) 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
  5) 当社独自の一体型溶着成形サファイアセルを採用
  6) 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能(KE−40B1の機能による)
  7) 粒径分解能を高める技術を採用(特許取得)
  8) パーティクルセンサの動作制御、測定データの表示用としてコントローラ「KE−40B1(新製品)」や、液中パーティクルセンサのバッチ測定用のシリンジサンプラ「KZ−30W1/30W2」も用意しています。

液中パーティクルセンサ「KS−18F」の測定システム例

3.製品仕様
1)光学方式 側方散乱方式
2)光源 半導体レーザ励起固体レーザ
(定格出力500mW、波長532nm)
3)粒径区分 4段階(出荷時)
0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上
任意設定:1段階から10段階まで設定
設定範囲:0.05μm〜0.2μm
4)定格流量 10mL/min
5)計数効率 10%±3%
6)最大定格粒子個数濃度 15 000個/mL(計数損失5%時)
30 000個/mL(計数損失10%時)
7)電源 DC12V (KE-40B1より供給)
8)大きさ・重さ 147(H)×272(W)×442(D)mm(突起部は除く)・約12kg


製品の詳細は、こちらのPDFカタログをご覧ください。


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