微粒子計測器

微粒子計測器の概要

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パーティクルカウンタの基本原理

光散乱方式

インレットノズルから導入された試料に光を照射し、粒子がその光を通過すると、散乱光を発します。
その散乱光を受光素子で受け、電気信号に変換します。
電気信号の大きさが粒径となり、散乱光を受光した回数が粒子数となります。
試料が液体の場合は、合成石英・サファイアで作られた粒子検出セル(フローセル)を用います。

光散乱方式センサ概略図

装置内配管図

粒子信号と粒径、粒子数の関係

光遮蔽方式

光源と受光素子を対面させ、光を電気信号に変換します。その光を粒子が通過すると、受光素子が受ける光が弱くなります。電気信号の減衰量が粒径となり、光が遮られた回数が粒子数となります。

光遮蔽方式センサ概略図

ポリスチレンラテックス粒子の波高分析結果