インライン測定用製品詳細
KL-30B
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
0.05μm、超純水の粒子汚染を監視
- センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ
- 超純水ラインに直接インストール、プロセスを管理
- パージエアユニット標準搭載
- 高圧に対応 500kPa（ゲージ圧）
- D/Aコンバータ（4-20mA）、アラーム出力接点を標準装備
- プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード（オプション）も使用可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM |
| 測定範囲 | 0.05μm～0.2μmの範囲で2から10段階 出荷時：0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上の4段階 |
| 試料流量 | 定格流量10mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動） |
| 最大粒子個数濃度 | 200,000個/ｍL（計数損失10%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、50/60Hz、約80VA |
| 大きさ | 約230（H）×330（W）×569（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約19.8kg |
KL-30AX
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
超純水の0.04μm粒子を監視
- センサ・コントローラ・流量計を一体化したオールインワンタイプ
- 高圧に対応 500kPa（ゲージ圧）
- D/Aコンバータ（4-20mA）、アラーム出力接点を標準装備
- プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード（オプション）も使用可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力500mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM |
| 粒径区分 | 0.04μm～0.15μmの範囲で2から10段階 出荷時：0.04μm以上、0.08μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上の4段階 |
| 試料流量 | 定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動） |
| 最大粒子個数濃度 | 15,000個/ｍL（計数損失10%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、50/60Hz、約130VA |
| 大きさ | 約230（H）×385（W）×570（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約24.8kg |
KL-30A
液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
超純水の0.05μm粒子を監視
- 計数効率10%を実現
- センサ・コントローラ・流量計を一体化したオールインワンタイプ
- 高圧に対応 500kPa（ゲージ圧）
- D/Aコンバータ（4-20mA）、アラーム出力接点を標準装備
- プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード（オプション）も使用可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力500mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM |
| 粒径区分 | 0.05μm～0.2μmの範囲で2から10段階 出荷時：0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上の4段階 |
| 試料流量 | 定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動） |
| 最大粒子個数濃度 | 15,000個/ｍL（計数損失10%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、50/60Hz、約130VA |
| 大きさ | 約230（H）×385（W）×570（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約24.8kg |
KS-17B
液中パーティクルセンサ、純水用
超純水の0.05μm粒子を監視
- 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
- センサコントローラ（KZ-70）やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA、パーフロ（特殊フッ素ゴム） |
| 粒径区分 | 0.05μm以上、0.1μm以上の2段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 100,000個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、約40VA（外部電源KZ-50（付属）を含む） |
| 大きさ | 約160（H）×300（W）×250（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約6kg |
KS-16
液中パーティクルセンサ
液体中の0.1μm粒子を測定
- 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
- センサコントローラ（KZ-70）やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
- セルに石英を採用
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒径区分 | 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、約40VA（外部電源KZ-50（付属）を含む） |
| 大きさ | 約110（H）×240（W）×150（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約3.5kg |
KS-16F
液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
薬液中の0.1μm粒子を測定
- 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
- センサコントローラ（KZ-70）やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
- セルにサファイアを採用
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | サファイア、PFA |
| 粒径区分 | 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、約40VA（外部電源KZ-50（付属）を含む） |
| 大きさ | 約110（H）×240（W）×150（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約3.5kg |
KL-28B
液中パーティクルカウンタ
薬液中の0.2μm粒子を測定
- 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
- 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
- モニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
- セルに石英を採用
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長780nm、定格出力40mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA、PTFE |
| 粒径区分 | 0.2μm以上、0.5μm以上の2段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V、約23VA（KE-28Bより供給） |
| 大きさ | 約70（H）×85（W）×118（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約0.6kg |
KL-28BF
液中パーティクルカウンタ、フッ化水素酸対応
薬液中の0.2μm粒子を測定
- 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
- 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
- モニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
- セルにサファイアを採用
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長780nm、定格出力40mW） |
| 接液部材質 | サファイア、PFA、PTFE |
| 粒径区分 | 0.2μm以上、0.5μm以上の2段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V、約23VA（KE-28Bより供給） |
| 大きさ | 約70（H）×85（W）×118（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約0.6kg |