今回はコロナ禍ということで、自社のクリーンルームへ。一般にはほとんど知られていない究極の「清潔」空間に潜入し、先端技術を支える現場の様子をお伝えします。クリーンルームクリーンルームでは、空気中における浮遊微小粒子や浮遊微生物が、限定された清浄度レベル以下に管理されている。また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理されている。マンガ：土屋多摩ハンドヘルドパーティクルカウンタKC-52リオンのクリーンルームで製造される気中微粒子計測器のひとつ。空気中の0.3 µmの微粒子の数を測定し、クリーンルームの清浄度を判定することができる。カラー液晶やバッテリを搭載しているため、広いクリーンルームでも、持ち運びながら自由に清浄度測定を行うことができる。電子部品や医薬品の製造工程等、幅広い分野で使用されている。気中微粒子計の国際規格ISO 21501-4(JIS B 9921)に適合している。(1 µmは、1 mmの1000分の1)パーティクルセンサKS-19Fリオンのクリーンルームで製造される液中微粒子計測器のひとつ。半導体の製造工程では、微粒子等の汚染物質を洗浄するために、多種類の薬品が使用されている。「KS-19F」は30 nmという小さな粒子の数を測定できるため、このような薬品の清浄度を管理するのに使われている。粒子検出部にサファイアのセルを採用しており、代表的な薬品の一つ、フッ化水素酸の測定までが可能である。(1nmは、1µmのさらに1000分の1で、1mmの100万分の1にあたる。)15
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