粒子発生装置校正に使用する空気を発生させる装置。清浄度の高い空気に試料となる微粒子を規定量混ぜることで正確な校正を行うことができる。パーティクルセンサクリーンルーム内の空気の清浄度を測るための装置。測定データをリアルタイムにモニタリングソフトウェアに送信する。流量計空気の流量を精密に測定する装置。体積管内を石鹸膜が移動する時間を測定し、大気圧、気温等の値から空気の流量を算出する。校正標準器校正において、試験器が示す値を比較するための基準となる機器。精度管理された原器。チャンバー空気と微粒子を均一に攪拌させる装置。複数の校正対象機器と標準器をつなぎ、校正作業を迅速に行う。RS232C/RS485コンバータRS232CとRS485インターフェイスを変換するコンバータ。取材・文/高橋 美由紀 撮影（P.6-7)/赤羽 佑樹6半導体工業や再生医療の躍進とともにニーズが高まる、リオンの微粒子計測器。クリーンルームなど空気の清浄度が高レベルで管理されている特殊空間で活躍する精密機器である。今回は、特殊な環境下で微粒子計測器の設置や校正を行うリオンサービスセンターのフィールドエンジニアたちの世界をのぞいてみよう。リオンのプライド—品質に懸ける［情熱］と［技］RION QUALITY微粒子計測器の品質を保つフィールドエンジニアの世界CALIBRATI
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