RION-JPN-vol15

8/24

6取材・文 /小林 良介監修 /水上 敬KC-13　1981年発売粒子検出部：KA-13、制御・表示部：KE-13光源にハロゲンランプ試料吸入口スリットスリット光電子増倍管リオン製品群の柱のひとつ、微粒子計測器。中でも空気中の微小な粒子を計測する気中微粒子計測器（パーティクルカウンタ）は、半導体、電子部品などの先端的産業分野において欠かせない製品だ。リオンが独自に開発を重ねてきた、気中微粒子計測器の歴史を探究していく。KC-10　1984 年発売　光源にハロゲンランプ （粗大粒子計測）KC-01C　1992 年開発　光源に半導体レーザ、受光素子にフォトダイオードハロゲンランプはタングステンフィラメントを封入ガス中で加熱し、白熱管内壁に蒸発したタングステンを再析出させる「ハロゲンサイクル」によって、安定した光出力を実現する。かつて、微粒子計測器では、照射スポット全体を均一な光で照らすべく、広い光学ビームを照射可能なこのハロゲンランプが用いられていた。リオンの技術史HISTORY OF TECHNOLOGYHalogen lamp light source第 9 回　気中微粒子計測器光源の進化と共に、未来へ。