試料ボトルコンピュータ廃液ボトルシリンジサンプラ「 KS-19F 」の後継器で、最上位器種とは 0.02 µmまで測定可能となりました。( 粒子 ) の管理粒径はより微小になって0.02 µmの製品化を行ったことに対して驚きと賞賛の声をいただきました。また、今まで見えなかった領域 ( 粒径 ) が見える化されたことで、歩留まりの改善につながった、などの声をいただいています。他社製品と比べた強みは？ 液体中のサンプル測定において、リオン製品は高い計数効率が強みであり、少ない容量で有効性の高い評価が行えます。半導体製造に使用される薬液は高価であるため、小容量での評価を必要とされます。また、0.02 µm の測定においては粒子検出部の温調管理がシビアになり、他社製品では精密な温調ユニットを使用する場合もございますが、「 KS-20F 」は 仕 様 の 温 湿 度 範 囲 内であれば特別なオプションは必要ございません。どんな液体でも測れるのですか？ 半導体製造プロセスでは、酸、アルカリ、有機溶媒など、さまざまな種類の薬液が使用されます。そのため、多くの薬液中の粒子測定を可能とするため、接液部には PFA、サファイアなどの部材を使用しております。「KS-20F」はどのような製品ですか？ 液中の微粒子を測定するパーティクルカウンタです。2014 年に発売されたなります。「 KS-19F 」は 0.03 µmの粒子が測定できる製品でしたが「 KS-20F 」つまり、さらに小さな粒子が測定できる製品となっています。どのような業界で使われていますか？ 特に多いのは半導体業界です。半導体製造プロセスにおいて、薬液や純水は非常に多く使用されています。その液体中の粒子管理に使用されます。半導体の配線に影響する異物があると不良品となり、生産の歩留まり低下につながります。半導体の微細化に伴い、異物おり、今後もKS-20Fよりも微小な粒径を測定したいという要望は続いていくものと思われます。「KS-20F」の利用者からの反応は？ 0.03 µm が従来の粒子検出方法である光散乱方式の限界と言われていた中で、その限界を打ち破り、光散乱方式で液体をどのように測るのですか？ 測定方法は２通り「インライン測定」と「バッチ測定」があります。「インライン測定」は、たとえば半導体製造の場合、洗浄する薬液が供給されるラインがあります。その薬液の供給ラインに対してセンサを分岐させ、薬液を常時センサの中に流して測定をしていく方法です。一方「バッチ測定」は、調べたい試料をボトリングし、これを吸い上げて測定する方法です。こちらは供給ラインに装置をつなげられない場合に有効です。また、薬液メーカーなど、容器中の薬液の粒子保証を行う場合にも使用されます。営業担当として感じる、リオンブランドの強みは？ 液体測定において小容量・高検出を基本とし、製品ごとの相関性および安定性に基づいて築かれた、お客様からの信頼です。その結果、国内外ともに高いシェアを獲得しております。また、国内外ともに代理店制を採用し、お客様への十分なフォローを行う体制を構築しております。コントローラ「 KE-40B1 」コントローラ「KE-40B1」は測定システム内で、電源供給や測定動作の制御を担う。粒径区分を最大 10チャネルまで任意設定可能で、その計数値を同時に表示することもできる。また内臓プリンタによる印字、CFカードへの自動保存などトレーサビリティの側面でも効果を発揮。コンピュータと接続することで多点監視や長期間のデータ管理が容易になるメリットも生まれる。測定システム例液中パーティクルカウンタ「 KS-20F」最小 0.02 µm の粒子まで高精度に測定できる液中パーティクルカウンタ。サファイアセル採用によりフッ化水素酸などの腐食性薬液にも対応し、光散乱方式レーザー光学系で 0.02 ～ 0.08 µm を2 ～ 7段階に設 定可能。半導体 製 造や材料・薬液メーカーの品質管理に用いられ、純水管理のデファクトスタンダードとして歩留まり向上に貢献。製品の詳細はウェブサイトで11
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