フッ化水素酸対応の液中微粒子計測器について

リオンでは、これまでも薬液中の0.04μm粒子を計測する液中パーティカルセンサを市場に投入してきました。しかしながら最先端の半導体市場においては、さらなる微小プロセス技術が進んでおり、半導体工場や材料・薬液メーカの品質管理では、より微小な粒子まで計測するニーズが高まっています。そのため当社では、他社に先駆けて、業界初となる薬液中の0.03μm粒子まで計測可能な液中パーティクルセンサを開発・投入することで、これら市場ニーズに対応するととともに、大手半導体メーカをはじめ関連する材料・薬液メーカにおける受注拡大を図っていきます。

液中パーティクルセンサ「KS-19F」の概要

1）主な用途

• 半導体工場や関連する材料・薬液メーカの品質管理において、純水中やフッ化水素酸中に浮遊する微粒子の粒径と個数濃度の測定

2）特長

• フッ化水素酸対応では業界初となる最小可測粒径0.03μmを実現
• 粒径区分は0.03～0.01μmの範囲内で、最大10段階（コントローラ「KE-40B1」から設定）
• 定格流量は10mL/min

測定システム例

製品の詳細は、PDFカタログ をご覧ください。