~薬液中の0.02㎛粒子まで測定可能~
フッ化水素酸対応の液中パーティクルセンサ「KS-20F」を発売
2022年02月10日
リオンは、最先端の半導体製造現場などの品質管理におけるフッ化水素酸溶液に対応した液中微粒子計測器として、薬液中の0.02μm粒子まで計測可能な液中パーティクルセンサ「KS-20F」を2022年2月14日に発売します。
これまでも薬液中の0.03μm粒子を計測する液中パーティクルセンサを市場に投入してきました。しかしながら、最先端の半導体製造工程においては、さらなる微小プロセス技術が進んでおり、半導体工場や材料・薬液メーカの品質管理では、さらに微小な粒子を計測するニーズが高まっています。半導体市場は、車の電動化や電気製品のスマート化（IoT化）、ICTやAI、高速通信規格（5G）の普及を受け活況が続いています。そこで、薬液中の0.02μm粒子まで計測可能な液中パーティクルセンサを開発・投入することで、これら市場ニーズに対応するとともに、大手半導体メーカをはじめ関連する材料・薬液メーカにおける受注拡大を図っていきます。
液中パーティクルセンサ「KS-20F」によるシステム構成
測定システムの各製品名称：(左下)液中パーティクルセンサ KS-20F、(左上)コントローラ KE-40B1、
(右)シリンジサンプラ KZ-31W
主な特長
1）フッ化水素酸溶液対応で最小可測粒径0.02μmを実現
2）任意に粒径区分を0.02~0.08μmの範囲で設定可能
3）豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応
測定システムの構成例
